理学的技术

理学磁流体密封的历史概况

理学的磁性流体密封起始于理学集团开发设计的X射线衍射分析装置的X射线发生器。 X射线衍射装置所使用的磁流体密封，在超高速旋转、高真空的同时又要在空心旋转轴中通过大量的水流等、使用条件极其严酷。
理学独自开发设计的磁场结构，使理学磁性流体密封经受住了严酷的实践检验。 理学公司命名的「磁气密封」的名称也在半导体制造行业等先端行业受到广泛使用和认可。

进入90年代，以CVD设备为代表的半导体设备对磁性流体密封的需求越来越大，使我们成为CVD设备厂商的最大供应商。

从2001年开始，我们将磁性流体密封业务进行整合。作为理学集团的磁流体密封件的专业制造商和经销商，我们与各个领域的客户进行广泛的技术交流，不仅半导体设备，还包括 FPD ，医药，航天，新能源等。

理学的业绩

本公司拥有30年以上的磁性流体密封的销售业绩，至今为止的客户数量达到了1400家。目前年销售超过3500余台，其中60%是客户设备商专用的定制产品。
凭借70多年的半导体分析仪器和30多年的磁流体密封研发生产所积累的经验和设计能力为基础，应客户的要求，制作让客户满意的产品。
详情请参照下述特别定制品页面。

• 定制品
• 新产品的开发

设施环境

公司设在东京都昭岛市的理学集团东京工厂，在日本本土研发生产，制作组装。
我们有最先进的零件清洗和烘干技术与设备，在半导体行业认证的无尘室内进行组装测试和包装，为用户提供在超精密真空设备中的无尘环保产品。

理学独特的超强磁场构成

理学的磁流体密封装置，是并列的永久磁铁的相同磁极NS-SN-NS将极靴夹在其中，形成对峙，相互排斥形成强大的磁场。将强大磁场中的磁靴先端分割成两个端面，构成了独自的磁性回路。 相邻接磁场的排斥效果致使磁靴先端的磁通量集中，磁流体在其强力的支撑下，每个密封圈的耐差压相对加大。 因此，使磁流体密封体积更加微小紧凑精致合理。 因为有强大的耐差压的磁场结构，磁靴和导磁轴之间的空隙可以加大，从而能使磁流体密封装置能生产出超大口径的产品，同时也能达到超高速旋转之目的。 理学磁流体密封装置的磁性回路，因为在磁靴内部所形成，从磁流体密封装置的磁场漏泄大大减少，因此具有很强的抗外界磁场的干扰性能。
正因为如此，电子束绘画装置等对外界磁场敏感的装置，在强磁场应用所必要的大口径单晶炉等方面、理学的磁流体密封装置被半导体行业厂家所广泛的使用。

理学的磁性流体

理学的磁性流体密封装置使用的磁性流体，大体上分为一般真空用和活性气体对应两个种类。
一般真空磁性流体，是以对应中真空/非活性气体为主，也适用于高速旋转。
对应活性气体的磁性流体，是CVD和蚀刻上使用的适应反应性高敏感的气体。根据耐热温度的差别可以分为两个级别。一种是普通耐温型，应用于一般高温传动装置上。另一种是耐高温型，即使在高温下，磁液的油脂也不容易难蒸发的无污染的磁性流体。
我们会根据客户的使用条件来推荐最适合的磁性流体。

上面的”蒸气压，温度特性”分析图，是磁性流体的蒸气压和温度之间的关系表示也被称为蒸气压曲线。
蒸气压低的一方对无论是在高温还是高真空状态下，显示了它不容易蒸发的特性。同时也对造成污染的原因，气体释放量也相对有所减少。

蒸气压曲线　使用上的注意

蒸气压曲线并不能代表和保证磁流体密封的性能和寿命。
建议磁性流体使用时，要超出它的饱和蒸气压两位数值以上的压力。

使用举例:磁流体密封安装部分的温度是100°C时

• 使用活性气体对应磁性流体时，推荐使用高出10-3Pa
• 使用高温、活性气体对应磁性流体时，推荐使用高出10-7Pa