真空机器人

实现了机器人密封的高性能化。

理学磁流体密封在清洁/真空机器人等多种用途中,积极致力于满足广大客户的需求。
随着FPD基板和半导体晶片的尺寸的大型化,利用理学的经验技术支持定位精度,减少了轴跳动。
此外,我们还满足客户的多样化需求,例如与差压密封和波纹管密封(直线往复运动)组合是磁流体密封。

  • 通过理学/X射线衍射仪中培养的精密加工技术来应对高精度多轴密封的尖端错位。
  • 每个密封件之间没有磁场干扰的独特磁路使多轴密封件变得紧凑。
  • 强磁铁、极片的高精度加工技术,可实现直径100mm以上的大口径密封。
  • 超薄防尘磁流体密封圈能承受20kpa以下的差压。

在真空机器人上使用磁流体密封的用户

多轴磁流体密封件和薄型防尘密封件为定制产品。
如果您正在考虑使用环境、工作温度范围、所需形状和负载条件、所需几何公差等,请与我们联系,我们的销售人员会回复。

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