提供可承受高温和活性气体的磁流体密封。

理学磁流体密封理学的磁流体密封件在太阳能电池、触控面板和平板显示器所需的生产透明导电膜和抗反射膜的溅射设备上，有丰富的生产业绩和经验。
可适用于对向靶法、离子束法、磁控管法、ECR法、反应喷射法等各种方式的溅射设备的需求。

在使用磁铁的磁流体密封件中，泄漏磁通量被认为是无法避免的。但理学的磁流体密封由于其独特的结构没有磁场泄漏。
理学的磁流体密封的外壳相距10mm以上，不受自然磁场的影响。因此您可以放心使用，而不必担心对等离子体离子和电子的影响。