新的挑战
理学磁流体密封一直在研发创新中不断发展和完善。根据客户的需求推出新的产品。
大口径，高速旋转磁流体密封
磁流体密封件是非接触式旋转密封件，即使在高速旋转状态下也能保持稳定的真空环境。
但是，通常旋转体的周速被限制在 20m/sec 以内，超过此值时，会发生磁性流体的会由于发热而劣化（摩擦⇒搅拌）、轴承劣化等，导致密封性能在短时间内就会出现问题。
目前，我们在大口径轴的高速旋转上实现了 30 m/sec 的周速，为了能够长时间稳定运行，我们将继续研发新的磁性流体和磁流体密封。
多轴的磁性流体密封
近年来，由于真空设备中晶圆传送机械臂的多功能化，多轴的磁流体密封占有比例越来越多。 轴越多，可以伸缩和旋转的机械臂就越多。
Rigaku 有 7 轴磁流体密封件的设计和制造业绩，在传统磁流体密封基础上，寿命长和无污染功能的多轴化，使其与油封等普通密封产品有了更明显的差距。
高压磁流体密封
通常，磁流体密封多用于真空室转动轴的密封，不过目前，压力仓用途的客户也越来越多。
在一般产品的加压极限约为0.2Mpa（2个大气压），但通过将磁流体密封结构改为耐压规格，即使在1Mpa的高压条件下也可以使用。
超高精度、防止表平面偏差的磁性流体密封精度可达 1/1000 以下。
近年来，以ALD设备为代表的原子层沉积技术得到了发展和应用。 为此，如何抑制载物台的表面跳动是均匀成膜的关键。 为了最大限度地抑制这种表面跳动，理学正在提高零件精密度和零部件之间的吻合精度，最近实现了表面跳动精度为 2/1000 的生产组装。 今后，我们以努力制作1/1000 以下的超高精度产品为目标。
用于低温产业的磁流体密封
低温真空室的应用越来越多。 理学磁流体密封的独特结构基础上添加隔热机能，使磁流体密封能够在低温下使用。 普通磁性流体的推荐规格为 10°C以上，目前，我们研发的低温-15°C 左右的磁流体密封已经投入市场使用。