提供耐高温・活性气体的磁性流体密封

长期以来，理学已经成为全球知名CVD设备制造商的主要供应商。
经过长时间的技术研发和试验，研制出在高温条件下也不产生气体的新型磁性流体。这种新型磁性流体和理学磁流体密封的的独自结构相结合，成功的为CVD装置提供了长寿命的磁性流体密封。

另外，通过精密的加工和熟练的组装技术，能保质保量的提供运转稳定均衡磁流体密封，对生成膜厚度的均一化做出了贡献。