よくあるご質問

磁性流体シールの使用に関するよくあるご質問とその回答です。
弊社に対するご質問への回答もこちらです。
この質問集に掲載されていないご質問やお問い合わせがございましたら、一般お問い合わせフォームよりお問い合わせください。

• 磁性流体シールの採用に関してのご質問
• 磁性流体シールのトラブルに関してのご質問
• 磁性流体シールのメンテナンス、オーバーホールに関してのご質問
• 弊社に関してのご質問

磁性流体シールの採用に関してのご質問

真空チャンバー内への回転導入軸のシールに、Oリング・オイルシール・メカニカルシール・ウィルソンシールを使用しています。 磁性流体シ－ルに交換できますか？磁性流体シールを使うと、どのようなメリット・デメリットがありますか？

はい、磁性流体シールに交換可能です。
メリット
磁性流体シールにすると、クリーン度アップや長寿命化などのメリットがあります。
磁性流体による液体接触のため、固体摩擦による発熱・発塵などなくクリーンな環境が保てます。
磁性流体シールの特性で、磁気シールのメリットが詳しく紹介されています。
デメリット
初期コストはかかりますが、メンテナンスサイクルを伸ばし、トータルコストを下げることも可能です。
詳しくは弊社営業までお問い合わせください。

磁性流体シールはどのくらいの回転数まで使用できますか？

周速21m/s（軸径φ40・10000rpm）（特殊仕様）の実績があります。
詳しくはお引き合いフォームにてお問い合わせください。

磁性流体シールはどのくらいの温度まで使用できますか？

真空装置内温度が1,000℃を超える雰囲気での実績（特殊仕様）があります。
詳しくは弊社営業までお問い合わせください。

液体や粉体の攪拌装置に磁気シ－ルは使えますか？

産業用接着剤の攪拌、汚泥処理での実績があります。
ただし、磁性流体シールで直接液体をシールすることはできないので、ご注意ください。
また、使用する液体（溶剤・溶媒など）の蒸気がシール部分で結露すると、シール不良やリークの原因となる可能性があります。
詳しくはお引き合いフォームにて使用条件をご連絡ください。

真空チャック用に磁性流体シ－ルは使えますか？

はい、使用できます。
磁性流体シールを使用すると、サンプルに傷を付けることなくしっかりと吸着したまま高速回転可能です。
詳しくは事例・実績 – 真空チャックをごらんください。

ガス導入用に磁性流体シ－ルは使えますか？

はい、使用できます。
磁性流体シールから反応ガス・パージガスなど複数系統のガス導入も可能です。
装置全体をよりシンプルでコンパクトにすることも可能となります。
詳しくは事例・実績 – ガス導入機をごらんください。

腐食性ガス雰囲気で磁性流体シールは使えますか？

ガスの種類、温度、濃度に対応した、磁性流体シールをご提案します。
詳しくはお引き合いフォームにてお問い合わせください。

納期まで日数がありません。短納期で対応してもらえますか？

お客様の工程短縮にご協力します。
短納期製品のご提案も可能ですので、弊社営業までお問い合わせください。

特注品の製作は可能ですか？

1台単位で対応します。お客様のご要望に合わせ、弊社の経験を生かした設計を行います。
弊社営業までお問い合わせください。

磁性流体シールの交換の目安はありますか？

交換の目安はお客様の使用条件により異なります。
詳しくは弊社営業までお問い合わせください。

磁性流体シールは修理できますか？ 修理にはどのくらい費用・日数がかかりますか？

もちろん、修理可能です。
修理をご希望の場合は、分解せずにそのまま弊社までお送りいただくか、弊社営業までご連絡ください。
修理にはどのくらい費用がかかりますか？
目安として新品価格の半額程度となります。（修理内容により異なります。）
修理にはどのくらい日数がかかりますか？
磁性流体シールをご返送いただいた後、修理見積書を作成します。
修理納期は、修理ご依頼後 約3週間が目安です。

磁性流体シールに保証期間はありますか？

保証期間は出荷後、１年です。

磁性流体シールに取扱説明書はありますか？

こちらより取扱説明書がダウンロードできます。

磁性流体シールにOリングやキー・水冷継手は付属していますか？

溝部に使用するOリングは1組付属しています。
予備が必要な場合は注文時にお申し付けください。
キー・水冷継手は付属していません。ご使用に合わせてご用意ください。

水冷タイプ磁性流体シールの場合、冷却水の流量および耐圧を教えてください。

流量は目安として１L/min 流していただければ十分です。 耐圧は0.5MPaです。

磁性流体シールはRoHSに対応していますか？

標準品はすべてRoHS対応です。
特殊仕様品につきましては、個別に証明書を発行します。

リガク独自の磁気回路って何ですか？

リガクの磁性流体シールは、複数のマグネットを使用した独自の磁気回路を採用しております。
そのため、他社の磁性流体シ－ルよりも強力なシ－ル力と耐外部磁場性を有しており、また漏洩磁場も少ないという特徴があります。
詳しくは、磁性流体シールとは？をご覧ください。

高温・高真空で使えるクリ－ンな磁性流体って何ですか？

リガクの高温・高真空対応磁性流体は、業界トップの低アウトガス性能を持つ、クリーンな磁性流体です。
半導体製造プロセスなどコンタミネーション厳禁の環境に最適です。
詳しくは、磁気シールとは？をご覧ください。

規格品の形状を一部変更することはできますか？

もちろんできます。
取り付け穴の変更、シャフトの長さの変更、フランジカットなどお気軽にお申し付けください。
ただし、形状変更を行った場合、規格品よりも納品までにお時間がかります。
詳しくは弊社営業までお問い合わせください。

磁性流体シールのトラブルに関してのご質問

装置内の圧力が下がりません。 磁性流体シールが原因となっている可能性はありますか？

装置の圧力が下がらない原因として、次の三つが考えられます。
(1) 磁性流体シールからのリーク
(2) 磁性流体シールの取り付け部からのリーク
(3) その他の部分からのリーク

(1)が疑われる場合は、弊社営業までご連絡ください。

装置内の圧力が安定しません。 磁性流体シールが原因となっている可能性はありますか？

原因が磁性流体シールか装置内のその他の部分かの判別のため、磁性流体シールの回転と圧力の変動状況をご確認の上、弊社営業までご連絡ください。
（長時間運転停止した後に始動した場合、回転始動時に一時的に圧力変動が起こる場合があります。）

磁性流体シールの回転が重くなりました。

磁性流体シールの回転が重くなる原因として、次の六つが考えられます。

(1) 長期間使用せずに放置した場合
(2) 冬季、気温が低い場合
(3) 磁性流体シールの表面および内部に生成物が堆積した場合
(4) 磁性流体シールの内部に異物が侵入した場合
(5) ベアリンググリースが劣化した場合
(6) ベアリングが破損した場合

(1)・(2)の場合は慣らし運転により回復する可能性があります。
慣らし運転については、よくあるご質問集の磁性流体シールの「慣らし運転」とは何ですか？をごらんください。
慣らし運転を行っても状況が変わらない場合は、弊社営業までご連絡ください。

磁性流体シールが回転しなくなりました。

分解調査が必要です。 分解せずにそのまま弊社までお送りいただくか、弊社営業へご連絡ください。

磁性流体シールに水・有機溶剤がかかってしまいました。

かかった液体の種類・おおよその量などの状況を、弊社営業までご連絡ください。
ご連絡いただいた状況により、引き取り調査および修理が必要となる場合があります。
その場合、保証期間内であっても調査および修理費用は有償となりますのでご了承ください。

磁性流体シールを落としてしまいました。

落とした高さ・ぶつかった箇所などの状況を、弊社営業までご連絡ください。
ご連絡いただいた状況により、引き取り調査および修理が必要となる場合があります。
その場合、保証期間内であっても調査および修理費用は有償となりますのでご了承ください。

磁性流体シールから液体が漏れてきました。

ただちに装置を停止し、状況を弊社営業までご連絡ください。

磁性流体シールから異音がします。

ただちに装置を停止し、状況を弊社営業までご連絡ください。

磁性流体シールのメンテナンス、オーバーホールに関してのご質問

磁性流体シールは修理できますか？ 修理にはどのくらい費用・日数がかかりますか？

もちろん、修理可能です。
修理をご希望の場合は、分解せずにそのまま弊社までお送りいただくか、弊社営業までご連絡ください。
修理にはどのくらい費用がかかりますか？
目安として新品価格の半額程度となります。 （修理内容により異なります。）
修理にはどのくらい日数がかかりますか？
磁性流体シールをご返送いただいた後、修理見積書を作成します。 修理納期は、修理ご依頼後 約3週間が目安です。

磁性流体シールを自社で修理できますか？

お客様が独自に磁性流体シールの修理を行うことはできません。
修理をご希望の場合は、分解せずそのまま弊社までお送りいただくか、弊社営業までご連絡ください。
お客様が独自に磁性流体シールの分解を行った場合は、保証対象外となりますのでご注意ください。

磁性流体シールの交換の目安はありますか？

交換の目安はお客様の使用条件により異なります。 詳しくは弊社営業までお問い合わせください。

磁性流体シールの「慣らし運転」とは何ですか？

磁性流体シールの回転始動時に起こる圧力変動を低減するために行う、磁性流体シールのウォーミングアップです。
真空引き開始前に、20回転以上軸を回転させてください。 駆動方法は問いません。

磁性流体シールの保管方法を教えてください。

磁性流体シールを保管する場合は、出荷時の梱包のまま温度変化の少ない場所で保管してください。
出荷時の梱包を解いてしまった場合は、磁性流体シールをビニール袋やラッピングフィルムなどで覆い、湿気やホコリが少なく、温度変化の少ない場所で保管してください。

磁性流体シールを使用せずに長期間保管したままにしてしまいました。 問題なく使えますか？

使えます。ご使用になる前に、十分に慣らし運転を行ってください。
磁性流体シールの「慣らし運転」とは何ですか？ に、慣らし運転についての説明があるのでご一読ください。

弊社に関してのご質問

ISOを取得していますか？

ISO9001、ISO14001ともに2015年度版の認証を取得しております。

どこで生産していますか？

設計から製作まで、すべて国内で行っています。