真空ロボット
ロボットシールの高機能化を実現します
リガク磁性流体シールユニットは、クリーン/真空ロボットの用途多様化の中、お客様仕様に積極的に取り組みます。
リガクの高い技術によりFPD基板や半導体ウェーハの大型化による位置決め精度を支える芯振れを低減しました。
また差圧シールや、ベローズシール（直進往復動）との組合せなどお客様の多様なニーズにお応えします。
- 先端位置ずれのない高精度多軸シールに、リガク/Ｘ線回折装置で培われた精密加工技術でお応えします。
- 各シール間で磁場の干渉がない独特の磁気回路が、多軸シールをコンパクト化します。
- 強力磁石とポールピースの高精度加工技術で、直径100mm以上の大口径シールも可能です。
- 20kPa以下の差圧にも耐える薄型防じんシールが可能です。
真空ロボットへ使用ご検討のお客様
多軸型磁性流体シール、薄型防じんシールは特注製品となります。
ご検討のお客様は、使用環境、使用温度範囲、ご希望の形状や荷重条件、必要な幾何公差等をこちらより弊社へ連絡頂ければ弊社営業より回答いたします。