単結晶引き上げ装置

耐磁場性に優れています

φ300mmを超える結晶のインゴットを引き上げるには、ＭＣＺ方式、カスプ磁場方式など強力な磁場の力が必要とされるため、その際採用される磁性流体シールは磁場に影響されないことが絶対条件となっています。磁場に強いリガク独自の磁性流体シール構造は、SSi研究所でのφ400ｍｍインゴットの引き上げに貢献したことで証明されております。

単結晶引き上げ装置に適した磁性流体シール

単結晶引き上げ注入装置でご使用いただく場合は、お客様の軸にシールの機能のみ組み込むスタンダードNFT-Bシリーズや、スタンダードF1T-Bシリーズ、をお勧めいたします。
また、るつぼや、巻き上げ装置を支持し高精度に回転させることも可能な磁性流体シールも製作実績がございます。

選定の際には使用温度範囲や、使用ガスなどにご注意下さい。
標準品で対応できない場合はご希望の形状や荷重条件等をこちらより弊社へ連絡頂ければ弊社営業より回答いたします。。