高温・活性ガスに耐えうる磁性流体シールを提供します

弊社は古くより大手CVD装置メーカー様に数多くの磁性流体シールを正式にご採用いただき提供しております。
それらの経験から長時間の研究とテストを重ねた結果、高温中でもほとんどアウトガスの出ない新磁性流体の開発に成功しました。 この新磁性流体と磁性流体シールの構造改良により、CVD装置用として従来不可能とされていた仕様条件での長寿命化に成功した磁性流体シールユニットをご提供いたします。

また、精密な加工と、熟練の組立によりムラのないスムーズな回転の磁気シールを安定して提供しており、生成膜厚の均一化に貢献しています。