要素部品
磁性流体シール
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(株)リガクコーポレートサイト
当社の技術
事例実績
製品情報
リガクの磁性流体シールは様々なアプリケーションへ使用されています。
真空ロボット
CVD装置
スパッタリング装置
イオン注入装置
単結晶引き上げ装置
真空チャック
エッチング装置
エピタキシャル成長装置
ロールtoロール成膜装置
X線発生装置
撹拌装置
ガス導入機
アーク放電
真空炉・加圧炉