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事例・実績

スパッタリング装置

漏洩磁束の少ない磁気シールを提供します

磁気シールでは避けられないと思われていた漏洩磁束ですが、リガク独自の構造ではケースより10mm離せば地磁気程度と判明しました。そのことによりプラズマイオンや電子への影響を気にすることなく安心してご使用いただけます。



スパッタリング装置に適した磁気シール

スパッタリング装置では金属汚染を避けるためベアリング部分がプロセス側にないカンチレバーFMB-Cシリーズ、カンチレバーF1B-Cシリーズ、カンチレバーF1T-Cシリーズをお勧めいたします。

FMT-B F1T-B F1T-C

選定の際には使用温度範囲や、使用ガスなどにご注意下さい。
ご希望の形状や荷重条件等をこちらより弊社へ連絡頂ければ弊社営業より回答いたします。

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